半導体市場は、デジタル社会の進展等により今後も右肩上がりの成長が見込まれる一方、経済安全保障の観点などから、サプライチェーン上のリスクが顕在化する中、半導体の安定供給を確保する国内産業の基盤強化が喫緊の課題となっています。
中国経済産業局では、中国地域のデジタル社会実現の基盤となる半導体関連産業の中期的な発展の方策を検討するため、産学官の有識者等で構成する中国地域半導体関連産業振興協議会を設立・運営しています。
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長州産業株式会社は1980年に設立された、山口県山陽小野田市に本社を構えるメーカーです。真空メカトロ機器事業は、有機ELディスプレイやペロブスカイト太陽電池の製造装置など、最先端の技術を応用した機器の開発にも力を入れています。
主な製品として蒸着装置では、誘導加熱方式蒸着源 IHESやクヌーセンセルで優れた蒸着速度と膜厚の再現、原材料のロスも小さいため、有機デバイス研究開発で採用いただいています。スパッタ装置では長州産業独自の技術を搭載する対向ターゲット方式で低プラズマダメージ、低基板温度を実現し、様々な分野において最適なプロセスを提供しています。その他、平行平板方式、円筒方式のスパッタ装置も提供しています。